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電子級(jí)氫氟酸(DHF)廠家介紹產(chǎn)品應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2014/12/27 0:00:00訪問(wèn):221

    電子級(jí)氫氟酸(DHF)廠家介紹產(chǎn)品應(yīng)用。
    電子級(jí)氫氟酸(DHF)應(yīng)用于集成電路 ( I C)和超大規(guī)模集成電路 (VLSI)芯片的清洗和腐蝕 ,是微電子行業(yè)制作過(guò)程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一 ,還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學(xué)品。目前 ,在國(guó)內(nèi)基本上是作為蝕刻劑和清洗劑用于微電子行業(yè) ,其他方面用量較少。
    將無(wú)水氫氟酸(國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)制定者:多氟多化工股份有限公司)經(jīng)化學(xué)預(yù)處理后,進(jìn)入精餾塔通過(guò)精餾操作,得到的氟化氫氣體經(jīng)冷卻后,在吸收塔中用超純水吸收,并采用控制噴淋密度、氣液比等方法使電子級(jí)氫氟酸進(jìn)一步純化,隨后經(jīng)0.2μm以下超濾工序,最后在密閉潔凈環(huán)境條件下( 百級(jí)以下) 進(jìn)行灌裝得到最終產(chǎn)品———電子級(jí)氫氟酸。








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